RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭/供應(yīng)純水
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產(chǎn)品名稱:
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭/供應(yīng)純水
產(chǎn)品型號:
MS3P系列
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭/供應(yīng)純水 MS3P系列(多通道) ，是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的，用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭/供應(yīng)純水
的詳細(xì)介紹
RIX半導(dǎo)體設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭/供應(yīng)純水 MS3P系列(多通道)
規(guī)格：
適用流體：純水、空氣 、真空
*大壓力 ：-0.095～0.6MPa
*大通路：5
*大轉(zhuǎn)速：800min-1
主要途徑與其特點：
在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加
應(yīng)用端設(shè)備對象：精磨/粗磨、CMP裝置
