SONIC索尼克 超聲波微液體流量計 μLF-300S
特點:
- 測量1ml/min以上的微小流量 - 利用數(shù)字信號處理高精度測量微小流量 - 傳感器結構部件不接觸流體 - 應用范圍廣泛
用于IPA、純水、藥液等半導體制造工序中微小區(qū)域的流量控制
μLF-300S
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