IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

產(chǎn)品型號: FLP-60W

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列，無需阻尼器即可實現(xiàn)低脈動，降低總體成本，適用于單晶圓工藝的負載追隨性優(yōu)異，可實現(xiàn)穩(wěn)定運行。

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列 的詳細介紹

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列產(chǎn)品特點：

●低脈動

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負載波動期間的跟隨性

●無需阻尼器可節(jié)省空間

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP-60W 產(chǎn)品特參數(shù)：

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